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信越化學(xué)積極投資光掩膜坯料事業(yè)
  為了擴大光掩膜坯料事業(yè),信越化學(xué)將實(shí)施約140億日元的設備投資。
 
  此次投資將分別在武生工廠(chǎng)(福井縣越前市)和直江津工廠(chǎng)(新瀉縣上越市)的舊工廠(chǎng)實(shí)施。武生工廠(chǎng)將新建廠(chǎng)房并強化高端ArF產(chǎn)品的生產(chǎn)設備,計劃于2021年4月前竣工。另一方面,直江津工廠(chǎng)將強化作為事業(yè)核心的通用ArF產(chǎn)品的生產(chǎn)設備,計劃在2019年年底前竣工。此次投資將使信越化學(xué)光掩膜坯料的生產(chǎn)能力提升30%。
 
  隨著(zhù)半導體元件產(chǎn)量的增加和產(chǎn)品的不斷小型化,無(wú)論是通用ArF產(chǎn)品還是高端ArF產(chǎn)品,光掩膜坯料的全球需求都在不斷增長(cháng)。信越化學(xué)將切實(shí)把握這些需求,進(jìn)一步擴大事業(yè)規模。
 
  【信越化學(xué)的光掩膜坯料事業(yè)】
 
  長(cháng)久以來(lái),信越化學(xué)一直致力于研究開(kāi)發(fā)半導體制造工序中使用的材料,光掩膜坯料便是其中的一種,并于2009年將其商業(yè)化,在直江津工廠(chǎng)正式開(kāi)始了生產(chǎn)。2016年,武生工廠(chǎng)也開(kāi)始生產(chǎn)該產(chǎn)品,在切實(shí)履行向客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品這一企業(yè)責任的同時(shí),通過(guò)在兩個(gè)生產(chǎn)據點(diǎn)進(jìn)行生產(chǎn)力圖達到分散事業(yè)風(fēng)險的目的。
 
  在事業(yè)步入正軌后,信越化學(xué)開(kāi)始推進(jìn)高端產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)工作以滿(mǎn)足客戶(hù)需求。最終,我們成功地開(kāi)發(fā)出了利用高精度微細加工技術(shù)生產(chǎn)的光掩膜坯料。信越化學(xué)的這一高端光掩膜坯料被認定為全球標準產(chǎn)品。
 
  【光掩膜坯料】
 
  是半導體制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上繪制電路時(shí),會(huì )使用光掩膜版作為電路的原版。
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